Details

Title: Исследование формирования затворов монолитных интегральных схем на основе нитрида галлия: выпускная квалификационная работа бакалавра: 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника ; 28.03.01_01 - Технологии материалов и изделий микросистемной техники
Creators: Цверкун Алена Сергеевна
Scientific adviser: Соловьев Юрий Владимирович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: СВЧ транзистор на основе гетероструктуры AlGaN/GaN; электронно-лучевая литография; затворы СВЧ транзисторов; microwave transistor based on AlGaN/GaN heterostructure; electron-beam lithography; gate of uhf transistors
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 28.03.01
Speciality group (FGOS): 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links: http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1660; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1660-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1660-a.pdf
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение)

Allowed Actions: Read You need Flash Player to read document

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В данной работе изложена сущность создания затворов микронных размеров для СВЧ монолитных интегральных схем и HEMT транзисторов на основе нитрида галлия с использованием электронно-лучевой литографии. Определены возможности изготовления минимальных затворов на установке электронно-лучевой литографии.

This graduation work describes the essence of creating micron-sized gates for microwave monolithic integrated circuits and gallium nitride-based HEMT transistors using electron beam lithography. The possibilities of manufacturing minimal gates on the installation of electron-beam lithography are determined.

Document access rights

Network User group Action
FL SPbPU Local Network All Read
-> Internet All Read

Document usage statistics

stat Document access count: 23
Last 30 days: 1
Detailed usage statistics