Багдасарян, Карен Артурович. Разработка технологии получения тонких пленок Al и Ti на подложке SiC для электронной литографии [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа бакалавра: 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника ; 28.03.01_01 - Технологии материалов и изделий микросистемной техники = Development of technology for producing thin films of Al and Ti on a SiC substrate for electron lithography / К. А. Багдасарян; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. Ю. В. Соловьев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,6 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr19-1672.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1672>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1672-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1672-a.pdf>.
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
Год 2019
|
Квартал 3
|
9
|
0
|
10
|
0
|
19
|
Квартал 4
|
8
|
0
|
7
|
0
|
15
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
4
|
0
|
11
|
0
|
15
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
Квартал 3
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Всего
|
23
|
0
|
30
|
0
|
53
|