Details

Title: Варьирование размера наночастиц, синтезируемых в плазме импульсно-модулированного высокочастотного разряда атмосферного давления: выпускная квалификационная работа бакалавра: 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника ; 28.03.01_01 - Технологии материалов и изделий микросистемной техники
Creators: Седов Ярослав Дмитриевич
Scientific adviser: Мишин Максим Валерьевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: наночастицы; высокочастотная плазма; емкостная плазма; импульсный режим; плазмоактивируемое химическое осаждение; nanoparticles; high-frequency plasma; capacitive plasma; pulse mode; plasma-activated chemical deposition
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 28.03.01
Speciality group (FGOS): 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links: http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1673; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1673-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1673-a.pdf
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions: Read Download (1.8 Mb) You need Flash Player to read document

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В данной работы изложены основные особенности плазмоактивируемого химического осаждения из газовой фазы наночастиц. Экспериментально получены наночастицы различных размеров в емкостно-связанной плазме высокочастотного разряда атмосферного давления в постоянном и импульсном режимах. Проведен элементный анализ полученных наночастиц и анализ распределения их по размерам.

This paper presents the main features of plasma-enhanced chemical vapor deposition of nanoparticles from the gas phase. Nanoparticles of various sizes were experimentally obtained in a capacitively coupled plasma of a high-frequency discharge of atmospheric pressure in constant and pulsed modes. An elemental analysis of the obtained nanoparticles and the analysis of their size distribution were carried out.

Document access rights

Network User group Action
FL SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Document usage statistics

stat Document access count: 40
Last 30 days: 4
Detailed usage statistics