В работе реализуется моделирование поверхности полевого эмиттера из SiC на основе данных атомно-силовой микроскопии (АСМ) в программном пакете COMSOL Multiphysics. В связи с этим в данной работе разрабатывается методика построения модели полевого катода с помощью аппаратного обеспечения и набора программных средств. Для этого получена АСМ – профилограмма катода. Рассмотрены метрологические характеристики АСМ. Разработана процедура загрузки АСМ - профилограммы полевого эмиттера на основе SiC в среду моделирования и построена соответствующая ей модель поверхности. Для модели поверхности исследовано распределение напряжённости поля и выявлены его особенности. Также проведен анализ сеточной сходимости модели. В заключении представлены основные результаты работы и показаны перспективы дальнейшего их использования.

The paper implements a simulation of the surface of a field emitter made of SiC based on atomic force microscopy (AFM) data in the COMSOL Multiphysics software package. In this regard, this paper develops a method for constructing a field cathode model using hardware and a set of software tools. For this, an AFM profilogram of the cathode was obtained. Metrological characteristics of AFM are considered. A procedure has been developed for loading the AFM profilogram of a field emitter based on SiC into the modeling environment and the corresponding surface model has been constructed. For the surface model, the distribution of the field was investigated and its features were revealed. The analysis of the mesh convergence of the model was also carried out. In the conclusion presents the main results of the work and shows the prospects for their further use.