В работе представлены результаты исследований по оценке толщины полимерного покрытия серебряных наночастиц методом отражательной эллипсометрии. Был выбран полимер полиамид-6, выполняющий сразу несколько задач, в том числе защитную и фиксирующую функции. Отработаны режимы синтеза НЧ и нанесения полимерных пленок с нанометровыми толщинами. Изучена эллипсометрическая установка, включающая программное обеспечение «Spectroscan». В заключении продемонстрированы результаты использования различных моделей разбиения структуры на слои, введен критерий качества сходимости эллипсометрических кривых.

In this work it was shown the applicability of the reflective ellipsometry technique for characterization of an optically inhomogeneous polymer film with silver NPs. The results of the use of various models of splitting the structure into layers are demonstrated, and the quality criterion for convergence of ellipsometric curves is introduced.