В работе проводится сравнительный анализ методов определения линейной жесткости повеса. Рассматривается задача об определении границ применимости классических балочных моделей к оценке жесткости подвеса микромеханического акселерометра. Для построения собственной нелинейной характеристики подвеса применяются геометрически точная нелинейная модель балки Бернулли-Эйлера. Для случая равноускоренного движения основания проводится анализ влияния вибрации и уровня возмущений на субгармонических резонансах. Проводится сравнительный анализ результатов с результатами прямого конечно-элементного моделирования.

The paper presents a comparative analysis of methods for determining the linear stiffness of the suspension. The problem is considered of determining classical beam models applicability limits to the evaluation of the micromechanical accelerometers suspension stiffness. To build nonlinear suspensions characteristics geometrically exact nonlinear model of the beam Bernoulli-Euler is applied. For the uniformly accelerated movement vibration effects and disturbances level at the subharmonic resonance are analyzed. A comparative analysis of the results with the results of direct finite element modeling is carried out.