Произведено экспериментальное исследование пространственного распределения интенсивности излучения микродискового лазера, сопряжённого с полосково-нагруженным щелевым волноводом, в спектральном диапазоне лазерной генерации. Щелевой волновод был выполнен из диэлектрических слоёв TiO2/SiO2/TiO2 с полосковой нагрузкой из полимерного резиста. В качестве метода исследования выбран метод сканирующей ближнепольной оптической микроскопии. В ходе выполнения работы методом спектроскопии микрофотолюминесценции исследованы характеристики лазерной генерации микродискового лазера диаметром 10 мкм с массивом квантовых точек InAs/InGaAs в активной области. Было показано вертикальное сопряжение микродискового лазера с волноводной структурой с последующим распространением излучения вдоль нагрузочного полоска волновода.

An experimental study of the possibility of directional light coupling from a microdisk (MD) laser using a strip-loaded slot waveguide was performed. The lasing characteristics of a 10-μm microdisk laser with InAs/InGaAs QDs active region were studied by photoluminescence spectroscopy. The spatial distribution maps of laser radiation were obtained using the scanning near-field optical microscopy, vertical coupling of a MD laser with a waveguide structure was demonstrated.

• Содержание
• Введение
• Глава 1. Литературный обзор
• 1.1. Резонаторы с модами шепчущей галереи
• 1.2. Активная среда с квантовыми точками в полупроводниковых микродисковых лазерах
• 1.3. Способы направленного вывода излучения из микродисковых и микрокольцевых резонаторов
• Глава 2. Экспериментальные методы
• 2.1. Синтез гетероструктур методом молекулярно-пучковой эпитаксии
• 2.2. Методы формирования микрорезонаторов
• 2.3. Методы формирования волноводной структуры
• 2.4. Методы оптических исследований
• Глава 3. Экспериментальные результаты
• 3.1. Исследование спектров микрофотолюминесценции
• 3.2. Исследование пространственного распределения излучения с помощью сканирующей ближнепольной оптической микроскопии
• Заключение
• Список литературы