Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: –
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
В работе сделан обзор литературных данных по теме исследования, о методах процесса напыления металлов и моделирования данных процессов.
The paper provides an overview of the literature data on the research topic, on the methods of the process of sputtering metals and modeling these processes.
Права на использование объекта хранения
Место доступа | Группа пользователей | Действие | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все | |||||
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ | |||||
Интернет | Анонимные пользователи |
Оглавление
- Введение.
- 1. Вакуумное напыление.
- 1.1 Моделирование процесса напыления тонких пленок вакуумным испарением.
- 2. Плазменное напыление.
- 2.2. Моделирование процесса плазменного напыления.
- 3. Газодинамический способ
- 3.1 Моделирование адгезионного взаимодействия частиц с преградой при ГН.
- Выводы.
- Список литературы.
Статистика использования
Количество обращений: 30
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |