При варьировании давления рабочего газа в установке высокочастотного магнетронного распыления осаждались тонкие пленки цирконата-титаната свинца, состоящие из двух слоев, в которых содержание свинца различалось на 20%. Проведено сравнительное исследование фазового состояния, состава и диэлектрических свойств двухслойных структур, отличающихся последовательностью осаждения этих слоев. Показано, что в зависимости от очередности расположения слоев существенно изменяются условия кристаллизации фазы перовскита и униполярные свойства пленок.

When varying the pressure of the working gas in the installation of high-frequency magnetron sputtering, thin films of lead zirconate-titanate were deposited, consisting of two layers in which the lead content differed by 20%. A comparative study of the phase state, composition and dielectric properties of two-layer structures differing in the sequence of deposition of these layers has been carried out. It was shown that depending on the order of the layers, the conditions of perovskite phase crystallization and unipolar properties of the films change significantly.