В данной работе разработаны численные методы для решения сильно нелинейных задач деформирования чувствительных элементов МЭМС. Построены и исследованы бифуркационные диаграммы для различных постановок задачи о прямоугольной мембране в поле одного электрода, а также для начально изогнутой балки.

In this work, numerical methods are used for solving highly nonlinear problems of deforming sensitive elements of MEMS. Bifurcation diagrams were constructed and investigated for various production problems of a rectangular membrane in the field of a single electrode, as well as for an initially curved beam.