Белавина, Наталья Александровна. Исследование возможности применения ионно-лучевого травления для планаризации термокомпенсированных ПАВ-фильтров: выпускная квалификационная работа магистра: направление 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» ; образовательная программа 22.04.01_01 «Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники» = Research of the possibility of using ion-beam etching for planarization of ther-mocompensated SAW - filters / Н. А. Белавина; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель А. Л. Шахмин; консультант по нормоконтролю Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2020. — 1 файл (3,1 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/vr20-1367.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1367. — Текст