В данной работе проводилось изучение структуры нанокомпозитов Fe3O4-SiO2 типа «ядро-оболочка» и композитов матричного типа, их свойства и методы их получения для дальнейшего определения способа их получения. Наиболее перспективным оказался метод аэрозольного химического осаждения из газовой фазы. В связи с этим была доработана установка для химического осаждения из газовой фазы и определены условия протекания процесса. Были проведены эксперименты для определения необходимости подключения электростатического фильтра для осаждения частиц оксида железа на кремниевую подложку. Смоделирован теплоперенос в подложкодержателе, а также газовые потоки и температурные поля в реакторе с использованием программного обеспечения COMSOL Multiphysics 5.3a. После определения условий проведения процесса были осуществлены эксперименты по получению нанокомпозиционного материала на основе оксида железа и диоксида кремния. В результате было решено подключать электростатических фильтр к системе для обеспечения осаждения наночастиц оксида железа на кремниевую подложку. Получены нанокомпозиты на основе оксида железа и диоксида кремния типа «ядро-оболочка» при различных температурных условиях и количестве ТЭОС.

In this work, the study of core-shell and matrix Fe3O4-SiO2 nanocomposites structure, their properties and ways of their synthesis was conducted. This has been done for further determination of the way of synthesis, which is Aerosol Assisted Chemical Vapor Deposition. Thereby, the modernization of experimental equipment for chemical vapor deposition and determination of process conditions were done. Experiments to determine the need of the electrostatic filter inclusion for iron oxide particles deposition were held. Heat transfer in the sample holder and heat transfer with laminar flow in reactor were simulated using COMSOL Multiphysics 5.3a software. After that experiments for the synthesis of nanocomposite materials based on iron oxide and silicon dioxide were held. As the result, the need of the electrostatic filter inclusion for iron oxide particles deposition was confirmed. The "core-shell" nanocomposites based on iron oxide and silicon dioxide were obtained under various temperature conditions and TEOS amount.