Данная работа посвящена исследованию оптического силикатного стекла после электронного облучения. Предметом работы являются спектры комбинационного рассеяния света (эффект Рамана) сформировавшихся оптических волноводов. В ходе экспериментов мы преследовали цель изучить модификации структурных свойств оптического силикатного стекла. В качестве метода получения волноводов было выбрано облучение электронами. По спектрам комбинационного рассеяния обнаружено, что в результате облучения электронами происходит модификация структуры образца силикатного стекла. Это установлено по изменению колебаний силоксановых колец в низкочастотном диапазоне, а также колебаниями разорванных связей немостиковых и дефектов мостиковых кислородов в высокочастотном диапазоне. Данные результаты могут быть использованы для получения новых методов создания волноводов, используемых в интегральной оптике.

This work is devoted to the study of optical silicate glass after electron irradiation. The subject of this work is Raman spectra of the light (Raman effect) of the formed optical waveguides. During the experiments, we aimed at studying modifications of the structural properties of optical silicate glass. Electron irradiation was chosen as a method for obtaining waveguides. From Raman spectra, it was found that because of electron irradiation, the structure of the silicate glass sample is modified due to the formation of the waveguide. This modification is associated with vibrations of siloxane rings in the low frequency range, as well as vibrations of broken bonds of non-bridging and bridge oxygen defects in the high frequency range. These results can be used to obtain new methods for creating waveguides used in integrated optics.