Details

Title: Солнечно-слепые фотодетекторы на основе твердых растворов AlGaN: выпускная квалификационная работа магистра: направление 16.04.01 «Техническая физика» ; образовательная программа 16.04.01_01 «Физика и техника полупроводников»
Creators: Буренина Дарья Сергеевна
Scientific adviser: Шалыгин Вадим Александрович
Other creators: Гаврикова Татьяна Андреевна
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: солнечно-слепые фотодетекторы; твердые растворы AlGaN; фотодиоды Шоттки; омический контакт; solar-blind photodetectors; solid solution AlGaN; schottky photodiodes; ohmic contact
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Master
Speciality code (FGOS): 16.04.01
Speciality group (FGOS): 160000 - Физико-технические науки и технологии
Links: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1758
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: ru\spstu\vkr\7117

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Данная работа посвящена разработке постростовой технологии создания солнечно-слепых фотодетекторов на базе барьера Шоттки. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Изучение особенности постростовой обработки твердых растворов AlGaN. 2. Подбор режимов напыления и вжигания омического контака. 3. Исследование влияния различных параметров на омичность контакта. 4. Разработка полного технологического цикла постростового производства солнечно-слепых фотодетекторов с барьером Шоттки на основе твердых растворов AlGaN. Работа проведена в лаборатории ФТИ им. А.Ф. Иоффе, где и производился рост структур и постростовая обработка, а так же были получены необходимые характеристики. В результате была разработана технология создания солнечно-слепых фотодетекторов с барьером Шоттки на основе твердых растворов AlGaN, которые не уступают лучшим мировым результатам.

This work is devoted to the development of a post-growth technology for creating solar-blind photodetectors based on the Schottky barrier. Tasks that were solved during the study: 1. The study of the features of post growth processing of AlGaN solid solutions. 2. Selection of spraying and annealing of an ohmic contact. 3. The study of the influence of various parameters on the ohmic contact. 4. Development of a full production cycle for post-growth production of sun-blind photodetectors with a Schottky barrier based on AlGaN solid solutions. The work was carried out in the laboratory of the Ioffe Institute, where the growth of structures and post-growth processing were carried out, as well as the necessary characteristics were obtained. As a result, a technology was developed to create sun-blind photodetectors with a Schottky barrier based on AlGaN solid solutions, which are not inferior to the best world results.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read
External organizations N2 All Read
External organizations N1 All
Internet Authorized users SPbPU Read
Internet Authorized users (not from SPbPU, N2) Read
Internet Authorized users (not from SPbPU, N1)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 4
Last 30 days: 1
Detailed usage statistics