Details

Title: Исследование влияния технологических процессов на изготовление и характеристики мембранного датчика давления компенсационного типа: выпускная квалификационная работа магистра: направление 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» ; образовательная программа 22.04.01_01 «Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники»
Creators: Терентьева Алёна Станиславовна
Scientific adviser: Шахмин Александр Львович
Other creators: Филатов Леонид Анатольевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Мембранные приборы; Мембраны; Датчики давления; Наноструктурные материалы; микроэлектромеханические системы; технологии МЭМС; MEMS; MEMS-technology
UDC: 681.586'326; 681.121.845; 620.22-022.53
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Master
Speciality code (FGOS): 22.04.01
Speciality group (FGOS): 220000 - Технологии материалов
Links: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1910
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: ru\spstu\vkr\9581

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Данная работа посвящена разработке конструкции ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа, расчет основных параметров ЧЭ мембранного МДД, предложение технологического процесса для изготовления разработанного ЧЭ мембранного МДД для дальнейшего исследования влияния технологических процессов на изготовление и характеристики ЧЭ мембранного МДД компрессионно-компенсационного типа. Задачи, которые решались в данной работе: 1. Разработка конструкции ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа; 2. Проведение необходимых расчетов основных параметров ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа аналитическим методом и методом КЭ; 3. Для разработанной конструкции предложен технологический процесс изготовления ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа; 4. По предложенному технологическому процессу произведен ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа. Работа проведена на базе АО «ГИРООПТИКА», где была проведена основная часть работы: разработка конструкции ЧЭ, проведение расчетов конструкции ЧЭ, с помощью аналитического метода и метода КЭ, также предложен технологический процесс для изготовления ЧЭ. В результате был произведен ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа.

The given work is devoted to developing of construction of detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type, calculating of basic parameters of detecting element of pressure sensor diaphragm, suggestion of technological process for producing of developed detecting element of pressure sensor diaphragm for further research of influence of technological processes on producing and characteristics of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type. Problems that were solving in the given work: 1. developing of construction of detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type; 2. conducting necessary calculations of basic parameters of detecting element of pressure sensor diaphragm by analytical method and finite element modeling; 3. for developed construction was suggested technological process of producing detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type; 4. on suggested technological process was produced detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type. The work was made on the base of «GYROOPTICS» where the main part of work was done: developing of construction of detecting element, conducting calculations of detecting element of pressure diaphragm transducer by analytical method and finite element modeling, was also suggested technological process for producing of detecting element. As a result, detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type was produced.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read
Internet Authorized users SPbPU Read
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 14
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics