Данная работа посвящена разработке конструкции ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа, расчет основных параметров ЧЭ мембранного МДД, предложение технологического процесса для изготовления разработанного ЧЭ мембранного МДД для дальнейшего исследования влияния технологических процессов на изготовление и характеристики ЧЭ мембранного МДД компрессионно-компенсационного типа. Задачи, которые решались в данной работе: 1. Разработка конструкции ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа; 2. Проведение необходимых расчетов основных параметров ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа аналитическим методом и методом КЭ; 3. Для разработанной конструкции предложен технологический процесс изготовления ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа; 4. По предложенному технологическому процессу произведен ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа. Работа проведена на базе АО «ГИРООПТИКА», где была проведена основная часть работы: разработка конструкции ЧЭ, проведение расчетов конструкции ЧЭ, с помощью аналитического метода и метода КЭ, также предложен технологический процесс для изготовления ЧЭ. В результате был произведен ЧЭ мембранного датчика давления компрессионно-компенсационного типа.

The given work is devoted to developing of construction of detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type, calculating of basic parameters of detecting element of pressure sensor diaphragm, suggestion of technological process for producing of developed detecting element of pressure sensor diaphragm for further research of influence of technological processes on producing and characteristics of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type. Problems that were solving in the given work: 1. developing of construction of detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type; 2. conducting necessary calculations of basic parameters of detecting element of pressure sensor diaphragm by analytical method and finite element modeling; 3. for developed construction was suggested technological process of producing detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type; 4. on suggested technological process was produced detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type. The work was made on the base of «GYROOPTICS» where the main part of work was done: developing of construction of detecting element, conducting calculations of detecting element of pressure diaphragm transducer by analytical method and finite element modeling, was also suggested technological process for producing of detecting element. As a result, detecting element of pressure sensor diaphragm of compression-compensating type was produced.