Тема выпускной квалификационной работы: “Разработка чувствительного элемента двухосного ёмкостного акселерометра, изготовленного по технологии КНИ” Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Провести обзор существующих литературных источников, описывающих двухосные емкостные ММА, их возможности, конструктивные решения. 2. Определить параметры чувствительного элемента (ЧЭ) двухосного емкостного микроэлектромеханического акселерометра (ММА), исходя из технологических требований фабрики-изготовителя. 3. Провести математическое моделирование ЧЭ двухосного емкостного ММА с использованием программных платформ MATLAB и COMSOL. 4. Провести анализ полученных результатов моделирования с существующими аналогами. В ходе работы были проведены расчеты, показывающие наглядно, каким образом конструкционные параметры тем или иным образом влияют на работу акселерометра. Анализ проводился методом математического моделирования с помощью программного обеспечения MATLAB & Simulink, COMSOL Multiphisics и Origin. Сравнение результатов моделирования в MATLAB и COMSOL показало, что различия между двумя расчетами не превышают 5 %, что говорит о высокой точности математического моделирования. Также, проведённый сравнительный анализ разработанного ЧЭ двухосного емкостного ММА с существующими аналогами, показал, что разработанная конструкция имеет наилучшую механическую чувствительность, наименьшие размеры, а также наибольший диапазон работы.

Theme of the graduate qualification work: “Development of a sensitive element of a biaxial capacitive accelerometer made using the SOI technology” Tasks that were solved during the study: 1. To review the existing literature sources describing biaxial capacitive microelectromechanical accelerometer (MMA), their capabilities, design solutions. 2. Determine the parameters of the sensitive element (SE) of the biaxial capacitive MMA, based on the technological requirements. 3. Carry out mathematical modeling of the SE of a biaxial capacitive MMA using the MATLAB and COMSOL software platforms. 4. Analyze the obtained simulation results with existing analogues. In this work calculations were made that clearly showed how the structural parameters in one way or another affect the operation of the accelerometer. The analysis was carried out using mathematical modeling using the software MATLAB & Simulink, COMSOL Multiphisics and OriginPro Comparison of the simulation results in MATLAB and COMSOL showed that the differences between the two calculations do not exceed 5%, which indicates a high accuracy of mathematical modeling. Also, a comparative analysis of the developed SE of a biaxial capacitive MMA with existing analogs showed that the developed design has the best mechanical sensitivity, smallest size, and also the largest range of operation.