Данная работа посвящена обоснованию выбора и исходных требований к разработке микроэлектромеханических микрофонов для решения задач фотоакустики. Задачи, которые решались в ходе выполнения работы: 1.Обзор схем и структуры современных фотоакустических устройств 2.Обзор принципов действия и устройства классических микрофонов 3.Исследование конструкции и технологий изготовления МЭМС микрофонов 4.Выбор типов и конструкций МЭМС микрофонов для фотоакустических применений 5.Выбор технологий доступных для изготовления МЭМС микрофонов. 6.Разработка вариантов для разработки МЭМС микрофона для фотоакустических применений. Работа проведена на базе НИЛ НМСТ, где собиралась значительная часть фактического материала по технологическим процессам, типам и конструкциям МЭМС устройств. Выполнены обзоры, показывающие современное состояние разработок в области фотоакустики и МЭМС микрофонов. Проведены исследования конструкций и технологий НИЛ, проанализированы возможности применения технологий для создания МЭМС микрофонов.В результате были разработаны предложения по составу и вариантам конструкции разрабатываемого в НИЛ МЭМС микрофонов для фотоакустических применений.

This work is devoted to the substantiation of the choice and initial requirements for the development of microelectromechanical microphones for solving photoacoustic problems. Tasks that were solved in the course of the work: 1. Overview of the schemes and structures of modern photoacoustic devices 2. Overview of the principles and devices of classic microphones 3. Study of the design and manufacturing techniques of MEMS microphones 4. Selection of the types and designs of MEMS microphones for photoacoustic applications 5. Selection of technologies available for the manufacture of MEMS microphones. 6. Development of options for developing a MEMS microphone for photoacoustic applications. The work was carried out on the basis of the RL NMST, where a significant part of the actual material was collected on the technological processes, types and designs of MEMS devices. Surveys showing the current state of development in the field of photoacoustics and MEMS microphones have been completed. A study of the design and technologies of RL NMST was carried out, the possibilities of applying technologies to create MEMS microphones were analyzed. As a result, proposals were developed on the composition and design options for the development of MEMS microphones for photoacoustic applications.