Максимов, Владислав Алексеевич. Оптимизация лазерно-плазменного источника EUV излучения для литографии – поглощение лазерной энергии в плазме и гидродинамические эффекты: выпускная квалификационная работа магистра: направление 03.04.02 «Физика» ; образовательная программа 03.04.02_06 «Физика космоса» = Optimization of the laser-plasma source of EUV radiation for lithography - an absorption of laser energy in a plasma and hydrodynamic effects / В. А. Максимов; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; научный руководитель В. Г. Капралов ; консультант по нормоконтролю И. Ю. Веселова. — Санкт-Петербург, 2020. — 1 файл (1,9 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/vr20-3366.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3366-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3366-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3366-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-3366. — Текст
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2021
|
Quarter 2
|
April
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
May
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
June
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 3
|
July
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
August
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
September
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 4
|
October
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
November
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
December
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Total
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
