Детальная информация

Название: Оптимизация лазерно-плазменного источника EUV излучения для литографии – поглощение лазерной энергии в плазме и гидродинамические эффекты: выпускная квалификационная работа магистра: направление 03.04.02 «Физика» ; образовательная программа 03.04.02_06 «Физика космоса»
Авторы: Максимов Владислав Алексеевич
Научный руководитель: Капралов Владимир Геннадьевич
Другие авторы: Веселова Ирина Юрьевна
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2020
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: EUV литография; лазерная плазма; EUV излучение; поглощение излучения; диаметр луча в прифокальной области; геометрические параметры лазерного луча; EUV lithography; laser plasma; EUV radiation; absorption of radiation; beam diameter in the near-focal region; geometric parameters of the laser beam
Тип документа: Выпускная квалификационная работа магистра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 03.04.02
Группа специальностей ФГОС: 030000 - Физика и астрономия
Ссылки: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-3366
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Доля энергии лазерного излучения, поглощенная в плазме, варьирует от 8.5 % при острой фокусировке излучения на Xe газоструйную мишень до 65 % при облучении расфокусированным лучом. И этот результат очень важен, поскольку мощность EUV излучения плазмы характеризуется поглощением. Проведённый анализ этого явления основан на гипотезе о тепловом разлёте плазмы за время длительности лазерного импульса τlas ≈ 10 нс. Для учёта разлёта плазмы при расчёте параметров плазмы потребовались измерения геометрических параметров луча, которые проводились тремя различными методами.

A part of laser pulse energy which is absorbed by plasma changes from 8.5 % to 65 % at a changing of laser beam diameter which irradiates Xe jet-puff target. And this result is very important, because the EUV radiation power of the plasma is characterized by absorption. The analysis of this phenomenon is based on a hy-pothesis about thermal expansion of plasma during the 10ns laser pulse time. The count of plasma parameters with taking into consideration of thermal expansion requires beam geometric parameters measuring, which were made by three different methods.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика