Данная работа посвящена разработке конструкции предохранительного клапана системы поддержания рабочего давления в герметичной камере установки прямого лазерного выращивания. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Анализ существующих решений на рынке для регулирования рабочего давления, использующихся в герметичных камерах или перчаточных боксах. 2. Выбор конструкции предохранительного в качестве основы для будущей разработки собственной конструкции предохранительного клапана. 3. Разработка и описание получившейся конструкции. 4. Выполнение соответствующих расчетов. В ходе проделанной работы было показано важность применения защитной атмосферы на процесс прямого лазерного выращивания. проведено описание существующей на данный момент на установке системы для контроля рабочего давления. На основе анализа применяемых решений была выбрана наиболее подходящая конструкция предохранительного клапана для системы поддержания рабочего давления установки прямого лазерного выращивания. В результате была разработана собственная конструкция предохранительного клапана для установки прямого лазерного выращивания. Проведено подробное описание конструкции и взаимодействия всех составных частей. Подобраны материалы и методы для изготовления частей корпуса и рабочих элементов. Проведены расчеты для подбора пружины с необходимым усилием для функционирования клапана в пределах рабочего давления 5-10 мбар.

The given work is devoted to the development of the design of the safety valve of the system for maintaining the working pressure in the sealed chamber of the direct laser deposition. Tasks that were solved during the study: 1. Analysis of existing solutions on the market for regulating the working pressure used in sealed chambers or gloveboxes. 2. Selecting a safety valve design as the basis for future development of our own safety valve design. 3. Development and description of the resulting design. 4. Performing appropriate calculations. In the course of the work done, the importance of applying a protective atmosphere to the direct laser deposition process was shown. A description is made of the system currently existing at the installation for monitoring working pressure. Based on the analysis of the solutions used, the most suitable safety valve design was chosen for the system for maintaining the working pressure of the direct laser deposition. As a result, a proprietary safety valve design was developed for the direct laser deposition unit. A detailed description of the design and interaction of all components is carried out. Materials and methods for the manufacture of parts of the body and work items are selected. Calculations were performed to select the spring with the necessary effort for the functioning of the valve within the operating pressure of 5-10 mbar.