Данная работа посвящена разработке микромеханического переключателя иисследованиям его характеристик. Задачи, которые решались в ходе выполнения работы:1.Обзор особенностей развития современных МЭМС устройств и микротехнологий.2.Обзор принципов действия и устройства оптических переключателей3.Исследование конструкции и технологий изготовления микромеханического тонкопленочного переключателя.4.Исследование характеристик микропереключателя.Работа проведена на базе НИЛНМСТ, где собрана значительная часть фактического материала по технологическим процессам, типам и конструкциям МЭМС устройств. Выполнены обзоры, показывающие современное состояние разработок в области МЭМС микропереключателей. Проведены исследование характеристик микропереключателя, определены влияние температурной зависимости и напряжения срабатывания тонкоплёночного затвора.В результате были разработаны предложения по применению разрабатываемого в НИЛ МЭМС микропереключателей.

This work is devoted to the development of a micromechanical switch and studies of its characteristics. Tasks that were solved in the course of the work:1.Overview of the development features of modern MEMS devices and microtechnologies.2.Overview of the principles of operation and design of optical switches.3.Study of the design and manufacturing techniques of the micromechanical thin-film switch.4.Study of micromechanical switch characteristics.The work was carried out on the basis of the R&D Lab NMST, where a significant part of the actual material was collected on technological processes, types and designs of MEMS devices. Reviews have been performed showing the current state of developments in the field of MEMS micromechanical switch. A study was made of the characteristics of the micromechanical switch, which determine the influence of the temperature dependence and the operating voltage (tripping voltage) of the thin-film switch. As a result, application proposals were developed at the R&D Laboratory for photoacoustic applications.

• ВВЕДЕНИЕ
• ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
• 1.1. Развитие микроэлектромеханических систем
• 1.2. Области применения МЭМС
• ГЛАВА 2. МИКРОПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ
• ГЛАВА 3. ПРАКТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
• 3.1. Микромеханические оптические переключатели
• 3.2. Технологический маршрут
• 3.3. Экспериментальные результаты
• ЗАКЛЮЧЕНИЕ
• СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ