Детальная информация

Название: Исследование характеристик микромеханического тонкоплёночного переключателя: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_04 «Микроэлектроника и твердотельная электроника»
Авторы: Джиникашвили Александр Джумберович
Научный руководитель: Акульшин Юрий Дмитриевич; Мусихин Сергей Федорович
Другие авторы: Гаврикова Татьяна Андреевна
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2020
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: МЭМС; микромеханический переключатель; микротехнологии; MEMS; micromechanikal switch; microtechnologies
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 11.03.04
Группа специальностей ФГОС: 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Ссылки: Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-4664
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Данная работа посвящена разработке микромеханического переключателя иисследованиям его характеристик. Задачи, которые решались в ходе выполнения работы:1.Обзор особенностей развития современных МЭМС устройств и микротехнологий.2.Обзор принципов действия и устройства оптических переключателей3.Исследование конструкции и технологий изготовления микромеханического тонкопленочного переключателя.4.Исследование характеристик микропереключателя.Работа проведена на базе НИЛНМСТ, где собрана значительная часть фактического материала по технологическим процессам, типам и конструкциям МЭМС устройств. Выполнены обзоры, показывающие современное состояние разработок в области МЭМС микропереключателей. Проведены исследование характеристик микропереключателя, определены влияние температурной зависимости и напряжения срабатывания тонкоплёночного затвора.В результате были разработаны предложения по применению разрабатываемого в НИЛ МЭМС микропереключателей.

This work is devoted to the development of a micromechanical switch and studies of its characteristics. Tasks that were solved in the course of the work:1.Overview of the development features of modern MEMS devices and microtechnologies.2.Overview of the principles of operation and design of optical switches.3.Study of the design and manufacturing techniques of the micromechanical thin-film switch.4.Study of micromechanical switch characteristics.The work was carried out on the basis of the R&D Lab NMST, where a significant part of the actual material was collected on technological processes, types and designs of MEMS devices. Reviews have been performed showing the current state of developments in the field of MEMS micromechanical switch. A study was made of the characteristics of the micromechanical switch, which determine the influence of the temperature dependence and the operating voltage (tripping voltage) of the thin-film switch. As a result, application proposals were developed at the R&D Laboratory for photoacoustic applications.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Оглавление

  • ВВЕДЕНИЕ
  • ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
  • 1.1. Развитие микроэлектромеханических систем
  • 1.2. Области применения МЭМС
  • ГЛАВА 2. МИКРОПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ
  • ГЛАВА 3. ПРАКТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
  • 3.1. Микромеханические оптические переключатели
  • 3.2. Технологический маршрут
  • 3.3. Экспериментальные результаты
  • ЗАКЛЮЧЕНИЕ
  • СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ

Статистика использования

stat Количество обращений: 4
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика