Буданцев, Александр Кириллович. Исследование физических процессов, определяющих предельные параметры работы устройств на основе МЭМС: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 16.03.01 «Техническая физика» ; образовательная программа 16.03.01_10 «Физическая и биомедицинская электроника» = Research of physical processes determined critical operating options of MEMS devices / А. К. Буданцев; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; научный руководитель П. Г. Габдуллин ; консультант по нормоконтролю С. Н. Давыдов. — Санкт-Петербург, 2020. — 1 файл (1,7 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/vr20-4778.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-4778-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-4778-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-4778. — Текст