Работа посвящена совершенствованию конструкции и методики использования измерительного комплекса для определения статических параметров полупроводникового чипа на пластине. Цель работы – сокращение времени настройки измерительного комплекса, а также увеличение точности измерений, что обеспечит повышение выпуска годных приборов.

The work is devoted to improving the construction and methods of using the measuring complex to determine static parameters chip on the semiconductor wafer. The purpose of the work is to reduce the setup time of the measuring complex, as well as increase the accuracy of measurements, which will increase the production of suitable devices.