В данной работе необходимо предложить метод нанесения покрытия альтернативный существующему способу. Для этого необходимо решить следующие задачи: 1. Исследовать процесс осаждения покрытия на сферическую поверхность ротора. 2. Математически описать процесс формирования равномерного по толщине покрытия на сфере с точностью на уровне сотых и тысячных долей микрометра. 3. На основе данных математического моделирования разработать макет устройства в процессе формирования покрытия. 4. Разработать алгоритм вращения сферического ротора согласно конструктивным особенностям устройства вращения. 5. Провести комплекс экспериментально-исследовательских работ по нанесению покрытия и оценить изменение формы сферических роторов. Работа проводилась на базе ГНЦ АО «ЦНИИ «Концерн «Электроприбор» - ведущей организации в области точного приборостроения. Здесь были проведены основные экспериментальные работы по нанесению покрытий, подготовлены образцы и измерены результаты. Результатом выпускной квалификационной работы является успешное выполнение поставленных задач: удалось получить реальные роторы с покрытием, имеющие точность формы на уровне сотых и тысячных долей микрометра, что в полной мере соответствует техническим требованиям, были разработаны методики контроля и получен комплекс данных по измерению толщин и эллипсометрических параметров покрытий на сферической поверхности.

In this work, it is necessary to propose an alternative coating method to the existing one. It is necessary to perform the following tasks: 1. Determine the nature of coating deposition on the spherical surface of the rotor. 2. Mathematically describe the possibility of obtaining a uniform coating thickness on the sphere. 3. Develop a layout of the device based on the results of mathematical modeling. 4. Develop an algorithm for rotating a spherical rotor according to the design features of the rotation device. 5. Construct experimental work on the coating and evaluate the change in the shape of the spherical rotor. The work carried out on basis of the JSC «Electropribor» - a leading institute of precision instrument engineering. Here, the main experiments on coating carried out, samples were prepared and the results measured. The result of the dissertation is the successful completion of the tasks: it was possible to obtain real coated rotor with shape accuracy at the level of hundredths and thousandths of a micrometers, which fully meets the technical requirements. Control methods were developed and a set of data obtained for measuring the thicknesses and ellipsometric parameters of coatings on a spherical surface.