Жуков, Павел Юрьевич. Отработка технологии магнетронного распыления нанослоёв оксида кремния: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники» = Development of the technology of magnetron sputtering of silicon oxide nanolayers / П. Ю. Жуков; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель Е. В. Афанасьева; научный руководитель В. Д. Лукьянов; консультант по нормоконтролю Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2021. — 1 файл (1,9 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/vr21-2222.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2222-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2222-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2222. — Текст