В данной работе рассмотрены возможности получения слоя катализатора в виде тонкой пленки железа для осаждения массивов углеродных нанотрубок методом катодного распыления, разработана методика контроля параметра, аналогичного толщине, слоя железа. Для проверки эффективности каталитических структур на них были осаждены массивы углеродных нанотрубок методом плазмохимического химического осаждения из газовой фазы в плазме разряда постоянного тока.

In this work, the possibilities of obtaining a catalyst layer in the form of a thin iron film for the deposition of arrays of carbon nanotubes by the method of ion sputtering are considered, and a method for controlling a parameter similar to the thickness of an iron layer. To test the efficiency of the catalytic structures, arrays of carbon nanotubes were deposited on them by the method of direct current plasma enhance chemical vapor deposition.