Данная работа посвящена разработке метода изготовления многослойных микрофлюидных устройств и исследованию их характеристик. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Разработка конструкции микрофлюидных чипов с интегрированными пневматическими клапанами и насосами. 2. Создание моделей микрочипов для изготовления с применением литографии и 3Д печати. 3. Изготовление устройств из ПДМС с помощью кремниевых мастер форм. 4. Изготовление устройств с помощью мастер форм, изготовленных методом 3Д печати. 5. Проведение экспериментальных исследований свойств полученных устройств. Работа проведена на базе СПбАУ, где проводилась значительная часть исследования. Были спроектированы и изготовлены два вида устройств с использованием разных технологий изготовления. В результате были изготовлены устройство в виде системы из трех клапанов, закрывающихся под действием давления и система из насоса и кнопки, при нажатии на которую насос прокачивает жидкость. Были исследованы давления закрытия клапанов и объем прокачиваемых насосом жидкостей.

The given work is devoted to fabrication of multilayered microfluidic devices and investigation of their properties. The research set following goals: 1. The concept development of the microfluidic chips with integrated pumps and valves. 2. The design creation of microchips with fabrication using photolithography and 3D printing. 3. The devices fabrication from PDMS using silicon master molds. 4. The devices fabrication using 3D printed master molds. 5. Conducting the research of fabricated devices properties. The work was fulfilled on the premises of SPbAU, where the significant part took place. Two different types of devices were produced using different fabrication technologies. The study resulted in fabrication of the device with three valves and the device with the button actuated pump. The valve closing pressures and pump liquid pumping volumes were investigated.