В работе проанализирован предложенный ранее алгоритм расчета параметров усредненных индивидуальных каскадов смещений. Предложен новый метод расчета на основе обработки выходных данных программного пакета TRIM. Суть метода заключается в расчете усредненной плотности индивидуальных каскадов путем кластеризации точек (вакансий), образовавшихся в результате внедрения ускоренного атомарного иона, и дальнейшего формирования выпуклой оболочки вокруг каждого кластера. Рассмотренный метод позволяет учесть практически все вакансии, образованные в результате формирования каскада. Проведено моделирование и выполнен первичный анализ результатов.

In this work, the previously proposed algorithm for calculating the parameters of the averaged individual cascades of displacements is analyzed. A new calculation method based on the processing of the output data of the TRIM software package is proposed. The essence of the method consists in calculating the average density of individual cascades by clustering points (vacancies) formed as a result of the introduction of an accelerated atomic ion, and further forming a convex shell around each cluster. The considered method makes it possible to take into account practically all vacancies formed as a result of the formation of a cascade. Modeling was carried out and primary analysis of the results was carried out.