Францев, Александр Игоревич. Разработка датчика низкочастотных виброперемещений на основе МЭМС акселерометра: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.04.04_06 «Интегральная электроника и микросистемотехника» = Development of a low-frequency vibration displacement sensor based on a MEMS accelerometer / А. И. Францев; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций; научный руководитель Д. О. Буданов; консультант по нормоконтролю М. С. Енученко. — Санкт-Петербург, 2021. — 1 файл (2,5 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/vr21-3793.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3793-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3793-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3793-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-3793. — Текст