Данная работа посвящена обзору и сравнению существующих образцов ёмкостных преобразователей с их тензорезистивными аналогами, а также моделированию рекомендаций по разработке ёмкостных преобразователей. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1) Анализ преимуществ измерительного оборудования на основе ёмкостных преобразователей по сравнению с тензорезистивными. 2) Моделирование мембраны ёмкостного преобразователя силы для нахождения оптимальных размеров измерительного, охранного и высоковольтного электродов и зазоров между ними. 3) Составление рекомендаций по конструированию ёмкостного преобразователя. Был выполнен обзор различных конструкций ёмкостных преобразователей и исследована зависимость эффективности работы от размеров и расположения электродов. Было проведено моделирование, показывающее наглядно, каким образом расположение того или иного электрода в ёмкостном преобразователе силы влияет на показатели измерения. В результате моделирования ёмкостный преобразователь силы, проведены электростатические расчёты модели. Разработаны эффективные технологические рекомендации по конструированию ёмкостного преобразователя силы и расположению электродов.

This work is devoted to a review and comparison of existing samples of capacitive transducers with their tensoresistive analogs, as well as modeling recommendations for the development of capacitive transducers. The tasks that were solved during the study: 1) Analysis of the advantages of measuring equipment based on capacitive transducers in comparison with strain gages. 2) Modeling the membrane of a capacitive force transducer to find the optimal dimensions of the measuring, guard and high-voltage electrodes and the gaps between them. 3) Drawing up recommendations for the development of a capacitive converter. A review of analyzes designs of capacitive converters was carried out and the dependence of the operating efficiency on the size and location of the electrodes was investigated. Simulations have been carried out to show clearly how the location of one or another electrode in a capacitive force transducer affects the measurement performance. As a result of the simulation of a capacitive force transducer, modern electrostatic calculations of the model. Effective technological recommendations have been developed for the design of a capacitive force transducer and electrode arrangement.