Методом высокочастотного магнетронного распыления изготовлены тонкопленочные сегнетоэлектрические двухслойные структуры цирконата-титаната свинца, состоящие из слоев, осажденных при давлениях аргоно-кислородной газовой смеси 4Паи 8Па. Содержание атомов свинца в осажденных слоях различалось на 20%. Изготавливались структуры, отличающиеся последовательностью осаждения слоев. Последующий высокотемпературный отжиг приводил к формированию фазы перовскита в осажденных структурах. С использованием методов растровой электронной микроскопии и диэлектрической диагностики изучены фазовое состояние, состав и диэлектрические свойства двухслойных структур. Показано, что в зависимости от очередности расположения слоев существенно изменяются условия кристаллизации фазы перовскита, диэлектрические параметры и униполярные свойства пленок.

The method of radio-frequency magnetron sputtering was used to fabricate thin-film ferroelectric two-layer structures of lead zirconatetitanate, consisting of layers deposited at pressures of an argon-oxygen gas mixture of 4Pa and 8Pa. The content of lead atoms in the deposited layers differed by ~20%. The formed structures differed in the sequence of layers deposition. Subsequenthigh-temperature annealing led to the formation of the perovskite phase in the deposited structures. Using the methods of scanning electron microscopy and dielectric diagnostics, the phase state, compositionand dielectric properties of two-layer structures have been studied. It is shown that, depending on the order of the layers, the crystallization conditions of the perovskite phase, the dielectric parameters, and the unipolar properties of the films changesignificantly.