Объектом исследования является одиночный электрический разряд вдоль поверхности полимерных пленочных диэлектриков в микрометровых промежутках микронных зазоров между электродами нанометровых толщин, нанесенных методом теневого вакуумного напыления.Цель работы – исследование характеристик поверхностного разряда меж-ду сегментированными электродами металлопленочных конденсаторов. В процессе работы проводились экспериментальные исследования и чис-ленное моделирование электрического поля в микрометровых промежутках.

The object of the study is a single electric discharge along the surface of polymer film dielectrics in micrometer gaps between nanometer-thick electrodes applied by a shadow vacuum deposition method.The aim of the work is to study characteristics of surface discharge betweensegmented electrodes of metal-film capacitors. Experimental studies and numerical simulation of the electric field in microme-ter spacings were carried out in the course of the work.