Злобин, Илья Сергеевич. Атомно-слоевое осаждение слоев катализатора роста углеродных нанотрубок: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии наноматериалов и изделий микросистемной техники» = Atomic layer deposition of carbon nanotube growth catalyst layers / И. С. Злобин; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2022. — 1 файл (1,5 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2022/vr/vr22-2513.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2022/vr/vr22-2513. — Текст