Тема выпускной квалификационной работы: «Разработка интегрального резистивного нагревателя для полупроводникового газового датчика». Данная работа посвящена изучению принципов работы и особенностей полупроводниковых газовых датчиков, а также разработке интегрального резистивного нагревателя для газовой ячейки. Была создана методика для определения характеристик нагревателя. Работа проведена на базе научно-исследовательской лаборатории нано- и микросистемной техники (НИЛ НМСТ), где собиралась значительная часть фактического материала. Были проведены эксперименты по определению зависимости характеристик интегрального нагревателя от температуры и приложенной мощности.

The theme of the final qualification work: "Development of an integrated resistive heater for a semiconductor gas sensor". This work is devoted to the study of the principles of operation and features of semiconductor gas sensors, as well as the development of an integrated resistive heater for a gas cell. A methodology was created to determine the characteristics of the heater. The work was carried out based on the research laboratory of nano- and microsystem technology, where a significant part of the actual material was collected. Experiments were carried out to determine the dependence of the characteristics of the integral heater on temperature and applied power.