Данная работа посвящена определению пространственных координат излучения одиночных фотонов квантовой точкой, сформированной детерминировано в монослое диселенида вольфрама. Итоговый образец представлял из себя массив источников одиночных фотонов с реперными серебряными метками совмещения.В ходе работы были получены атомарно-тонкий слой WSe2 методом механической эксфолиации объемного кристалла и массив серебряных меток совмещения на подложке SiO2/Si методом теневой литографии. Затем, был осуществлен трансфер монослоя на подложку с массивом серебряных меток. Методом локальной деформации зондом атомно-силового микроскопа (АСМ) сформированы источники одиночных фотонов в монослое WSe2, а их локализация исследована путем фотолюминесцентной визуализации.По результатам исследований определена пространственная локализация квантовых однофотонных излучателей с погрешностью менее 70 нм и обозначены координаты источников одиночных фотонов на картах атомно-силовой микроскопии.Одиночные фотоны перспективны в качестве носителей квантовой информации, поэтому источники одиночных фотонов являются одними из ключевых элементов в квантовой оптоэлектронике. Результаты данной работы вносят вклад в развитие новых типов источников одиночных фотонов на основе двумерных Ван-дер-Ваальсовых материалов.

This work is devoted to determining the spatial coordinate of the emission of single photons by a quantum dot formed deterministically in a monolayer of tungsten diselenide. The final sample consisted of an array of single photon sources with reference silver alignment marks.In the course of the work, an atomically thin layer of WSe2 was obtained by mechanical exfoliation from a bulk crystal and an array of silver alignment marks on a SiO2/Si substrate by electron beam lithography, metal deposition and lift-off. Then, the monolayer was transferred to the substrate with the array of silver markers. The sources of single photons in the WSe2 monolayer were formed by the method of local deformation with the probe of an atomic force microscope (AFM), and their localization was investigated by photoluminescent imaging.According to the research results, the spatial localization of quantum single-photon emitters with an error of less than 70 nm was determined and the spatial coordinates of the quantum dot location were indicated on an AFM map.Single photons are very promising as carriers of quantum information. Therefore, single photon sources are one of the key elements in quantum optoelectronics. The results of this work contribute towards the development of novel single photon sources based on 2D van der Waals materials.