Левина, Светлана Николаевна. Разработка технологии плазмохимического травления карбида кремния для создания мембран емкостных датчиков давления: выпускная квалификационная работа магистра: направление 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» ; образовательная программа 22.04.01_01 «Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники» = Silicon carbide plasma-chemical etching for capacitive pressure sensors design / С. Н. Левина; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель И. А. Тюрикова. — Санкт-Петербург, 2022. — 1 файл (3,6 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2023/vr/vr23-273.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-273. — Текст