Уникальные характеристики наночастиц оксида железа делают их привлекательными для исследований в различных областях, таких как биомедицина, электротехника, связь и др. Плазмохимическое осаждение из газовой фазы один из высокоэффективных способов синтеза наночастиц, позволяющий на недорогом оборудовании получать частицы заданного размера как в лабораторных условиях, так и в промышленных масштабах с высокой скоростью осаждения материала. В работе были получены наночастицы в различных режимах работы экспериментальной установки методом плазмохимического осаждения из газовой фазы. Проанализирован состав частиц методом ИК Фурье-спектроскопии, подтвердилось наличие оксидов железа (FeO, Fe2O3 и Fe3O4). Был проведён рентгеноструктурный анализ выявивший наличие в образцах примесей, в первую очередь углерода и его оксидов.Произведён анализ стехиометрического состава, а также оценка распределения размеров наночастиц по результатам анализа изображений сканирующей электронной микроскопии. Результаты позволяют соотнести влияние режимов осаждения на скорость роста и статистическое распределение по размерам наночастиц оксидов железа.

The unique characteristics of iron oxide nanoparticles make them attractive for research in various fields, such as biomedicine, electrical engineering, communications, and others. Plasma-enhanced chemical vapor deposition is one of the highly efficient methods for the synthesis of nanoparticles, which makes it possible to obtain particles of a given size on inexpensive equipment both in laboratory conditions and on an industrial scale with a high material deposition rate.In the work, nanoparticles were obtained in various modes of operation of the experimental setup by plasma-enhanced chemical vapor deposition from the gas phase. The composition of the particles was analyzed by FTIR spectroscopy, and the presence of iron oxides (FeO, Fe2O3 and Fe3O4) was confirmed. X-ray diffraction analysis was carried out, which revealed the presence of impurities in the samples, primarily carbon and its oxides. In this work, an analysis of the stoichiometric composition was made, as well as an assessment of the size distribution of nanoparticles based on the results of the analysis of images of scanning electron microscopy. The results allow us to correlate the effect of deposition modes on the growth rate and the statistical size distribution of iron oxide nanoparticles.

• ВВЕДЕНИЕ
• ГЛАВА 1 ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
  • 1.1 Применение магнитных наночастиц
  • 1.2 Способы синтеза наночастиц
  • 1.3 Синтез наночастиц методом ПА ХОГФ
  • 1.4 Плазма на основе ВЧ разрядов в импульсном режиме
  • 1.5 Выводы по Главе 1
• ГЛАВА 2 МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
  • 2.1 Теория синтеза
  • 2.2 Описание установки
    • 2.2.1 Реакционная камера
    • 2.2.1 Система питания
    • 2.3.3 Дополнительно оборудование
  • 2.3 Постановка эксперимента
• ГЛАВА 3 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ
  • 3.1 Элементный состав
  • 3.2 Распределение наночастиц по размерам
    • 3.2.1 Режим без модуляции разряда
    • 3.2.2 Импульсный режим
  • 3.3 Оценка времени роста наночастиц
• ЗАКЛЮЧЕНИЕ
• СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ