В работе представлены результаты получения и исследования пленок твердых растворов на всем промежутке фазовой диаграммы Al2O3-CoO. Пленки получены методом послойного магнетронного распыления Al и Co мишени на кварцевые стекла в атмосфере Ar с последующим отжигом при температуре 1200°C. Был проведен расчет времени распыления Al и Co мишеней с целью контроля стехиометрического состава образцов. Был проведен качественный рентгеновский фазовый анализ, в результате которого выявлено взаимодействие Al с подложкой. Точный стехиометрический состав был получен по результатам рентгеновской фотоэлектронной спектрометрии. Появление новой фазы на образцах с высоким молярным содержанием CoO отразилось на оптических свойствах покрытий, измеренных методами спектрометрии на диапазоне видимого спектра. Измерена микротвердость по Виккерсу для серии полученных образцов и чистого кварцевого стекла. Установлено, что нанесение покрытий, содержащих алюмокобальтовую шпинель благоприятно влияет на износостойкость изделия.

The paper presents the results of obtaining and research solid solution coatings over the entire interval of the Al2O3-CoO phase diagram. The coatings were obtained by layer-by-layer magnetron sputtering of Al and Co targets onto quartz glasses in an Ar atmosphere followed by annealing at a temperature of 1200°C. The sputtering time of Al and Co targets was calculated in order to control the stoichiometric composition of the samples. A qualitative X-ray phase analysis was carried out, as a result of which the interaction of Al with the substrate was revealed. The exact stoichiometric composition was obtained from the results of X-ray photoelectron spectrometry. The appearance of a new phase on samples with a high molar content of CoO affected the optical properties of coatings measured by spectrometry in the visible range. Vickers microhardness was measured for a series of obtained samples and pure quartz glass. It has been established that the application of coatings containing aluminum and cobalt spinel has a positive effect on the wear resistance of the product.