Детальная информация

Название: Автоматизированная установка плазмохимического травления: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 15.03.04 «Автоматизация технологических процессов и производств» ; образовательная программа 15.03.04_03 «Автоматизация технологических машин и оборудования»
Авторы: Алексеев Владислав Алексеевич
Научный руководитель: Волков Андрей Николаевич
Другие авторы: Серикова Елена Андреевна
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2023
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: автоматизация; плазмохимическое травление; алгоритм; управление; реактор; камера; манипулятор; automation; plasma chemical etching; algorithm; control; reactor; chamber; manipulator
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Уровень высшего образования: Бакалавриат
Код специальности ФГОС: 15.03.04
Группа специальностей ФГОС: 150000 - Машиностроение
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4316
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи: ru\spstu\vkr\22105

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Данная работа посвящена автоматизации работы установки плазмохимического травления STE ICP200E. Задачи, которые решались в ходе работы: – анализ конструкции установки плазмохимического травления STE ICP200E, – составление технологической и вакуумной схемы установки, – составление схемы системы управления установки, – написание алгоритма управления установки, – написание кода программы автоматического управления в среде программирования GX Works3. Работа проводилась на базе ЗАО “НТО”, где собиралась значительная часть материала работы: был проведен анализ конструкции установки STE ICP200E, собрана информация о физической составляющей происходящего процесса плазмохимического травления, проведены тестовые включения установки на базе написанной программы автоматизации. В результате был проведен подробный анализ устройства установки плазмохимического травления, что позволило составить алгоритм управления установки и перенести его в среду программирования GX Works3, проверив работу программы на установке.

The given work is devoted to the automation of the operation of the STE ICP200E plasma chemical etching unit. The research set the following goals: – analysis of the design of the STE ICP200E plasma chemical etching unit, – drawing up the technological and vacuum scheme of the installation, – drawing up a diagram of the installation control system, – writing the installation control algorithm, – writing the code of the automatic control program in the GX Works3 programming environment. The work was carried out on the basis of CJSC “SemiTEq”, where a significant part of the work material was collected: the design of the STE ICP200E installation was analyzed, information about the physical component of the plasma chemical etching process was collected, test switch-ons of the unit were carried out on the basis of a written automation program. As a result, a detailed analysis of the plasma chemical etching plant was carried out, which made it possible to compile an algorithm for controlling the unit and transfer it to the GX Works3 programming environment, checking the operation of the program on the unit.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ Прочитать
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 10
За последние 30 дней: 1
Подробная статистика