Данная работа посвящена автоматизации работы установки плазмохимического травления STE ICP200E. Задачи, которые решались в ходе работы: – анализ конструкции установки плазмохимического травления STE ICP200E, – составление технологической и вакуумной схемы установки, – составление схемы системы управления установки, – написание алгоритма управления установки, – написание кода программы автоматического управления в среде программирования GX Works3. Работа проводилась на базе ЗАО “НТО”, где собиралась значительная часть материала работы: был проведен анализ конструкции установки STE ICP200E, собрана информация о физической составляющей происходящего процесса плазмохимического травления, проведены тестовые включения установки на базе написанной программы автоматизации. В результате был проведен подробный анализ устройства установки плазмохимического травления, что позволило составить алгоритм управления установки и перенести его в среду программирования GX Works3, проверив работу программы на установке.

The given work is devoted to the automation of the operation of the STE ICP200E plasma chemical etching unit. The research set the following goals: – analysis of the design of the STE ICP200E plasma chemical etching unit, – drawing up the technological and vacuum scheme of the installation, – drawing up a diagram of the installation control system, – writing the installation control algorithm, – writing the code of the automatic control program in the GX Works3 programming environment. The work was carried out on the basis of CJSC “SemiTEq”, where a significant part of the work material was collected: the design of the STE ICP200E installation was analyzed, information about the physical component of the plasma chemical etching process was collected, test switch-ons of the unit were carried out on the basis of a written automation program. As a result, a detailed analysis of the plasma chemical etching plant was carried out, which made it possible to compile an algorithm for controlling the unit and transfer it to the GX Works3 programming environment, checking the operation of the program on the unit.