Есьман, Даниил Дмитриевич. Исследование и сравнение свойств различных фоторезистов, используемых в производстве изделий микросистемотехники: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии наноматериалов и изделий микросистемной техники» = Research and comparison of the properties of various photoresists used in the production of microsystem products / Д. Д. Есьман; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель Е. В. Афанасьева; консультант по нормоконтролю Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2023. — 1 файл (0,8 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2023/vr/vr23-4348.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4348. — Текст: электронный