В работе проведен расчёт параметров усредненного индивидуального каскада смещений в оксиде галлия.  Сделан обзор опубликованной литературы об образовании структурных повреждений. Проведён анализ особенностей дефектообразования в оксиде галлия. Проведено моделирование торможения ионов в оксиде галлия в широком диапазоне масс и энергий в приближении парных столкновений в программе TRIM. Получены значения среднего проективного пробега ионов (Rp), и глубины максимального энерговыделения в упругих столкновениях (Rpd), а также построен график зависимости Rpd от глубины для всех исследуемых ионов и график зависимости Rpd от массы. С использованием разработанного ранее алгоритма, а также ранее не применяемого метода с использованием фрактальных параметров рассчитана плотность индивидуальных каскадов смещений и построены графики зависимости плотности каскадов от глубины проникновения. Расчеты проведены для всех ионов и энергий в зависимости от глубины. В результате показано, что оба метода применимы для расчёта плотности каскадов смещений. Также рассчитаны фрактальные размерности формируемых каскадов смещений.

In this work, we calculated the parameters of an averaged individual cascade shifted in gallium oxide. A review of the published literature on the formation of structural damage is made. The features of defect formation in gallium oxide are analyzed. The simulation of deceleration of ions in gallium oxide in the reduction of mass and energy in the approximation of pair collisions in the TRIM program is carried out. The values of the average projective range of ions (Rp), as well as the maximum value of energy release in elastic actions (Rpd), were obtained, and a graph of the dependence of Rpd on the indicator for all insulins and a graph of the dependence of Rpd on mass were plotted. Using the previously developed algorithm, as well as a previously unused method using the fractal parameters of the measured value of the statistical value of displacements and the constructed graph of the dependence of the statistical value of the propagation velocity. Calculations were carried out for all ions and energy depending on the frequency. As a result, it turned out that both methods are applicable for calculating the sizes of displacement cascades, and the advantage of the method of fractal parameters is a greater calculation of the number, since at the output, we get the value of the statistics for different radii of the spheres inside which we consider neighboring vacancies.