Данная работа посвящена исследованию и разработке нового метода создания гибридных наноструктур на основе кремния и серебра. Основной целью исследования является изучение морфологии и оптических характе-ристик этих структур с целью их потенциального применения в качестве ГКР-активной подложки подложки. Особый интерес также представляет возможное прикладное использование данных структур в различных обла-стях. Гибридные структуры были созданы в рамках одного технологического цикла, включающего восстановление нитрата серебра из раствора на по-верхности кремния и последующий высокотемпературный отжиг при 1000 °C. Этот процесс позволяет не только сохранить плазмонные свойства ча-стиц серебра на поверхности кремния, но и обеспечить защиту этих свойств от внешних воздействий путем покрытия слоем SiO2. Были проведены чис-ленные расчеты для определения оптимального положения локализованного поверхностного плазмонного резонанса в зависимости от геометрии струк-тур. Теоретическое полноволновое электромагнитное моделирование комбинационного рассеяния света внутри структуры Ag/Si показало наличие областей усиления, известных как "горячие точки", на острых углах, с мак-симальным коэффициентом усиления, достигающим 10^6.

This work is devoted to the study and development of a new method of cre-ating hybrid nanostructures based on silicon and silver. The main purpose of the research is to study the morphology and optical characteristics of these structures with the aim of their potential application as a GCR-active substrate. Of particular interest is also the possible application of these structures in various fields. The hybrid structures were created in a single process cycle involving the reduction of silver nitrate from solution on the silicon surface and subsequent high temperature annealing at 1000 °C. This process makes it possible not only to preserve the plasmonic properties of silver particles on the silicon surface but also to protect these properties from external influences by coating with a layer of SiO2. Numeri-cal calculations were performed to determine the optimal position of the localized surface plasmon resonance depending on the geometry of the structures. The theo-retical full-wave electromagnetic simulation of the combinatory light scattering inside the Ag/Si structure showed the presence of enhancement regions, known as "hot spots", at sharp angles, with a maximum enhancement factor reaching 10^6.