Тема выпускной квалификационной работы: «разработка манипулятора для работы при пониженном давлении». В данной работе выполнена разработка прототипа манипулятора способного работать в вакуумной среде и выполнять процесс манипуляции кремниевыми пластинами. Сделан анализ существующих решений в сфере манипуляторов для работы в вакуумной среде с кремниевыми пластинами. Поставлена задача, которую должен выполнять прототип разрабатываемого манипулятора и выполнена его структурная схема. Выполнена кинематическая схема и рассчитаны её DH параметры. Выполнен силовой расчёт и из него были выбраны электрические приводы. Выполнено проектирование механической части манипулятора и приведены их чертежи. Разработана электрическая схема управления разработанного прототипа. Написан программный код управления манипулятором и выполнен графический интерфейс для управления манипулятором с персонального компьютера. Описаны проведённые эксперименты с изготовленным прототипом манипулятора.

The theme of the final qualification work: "development of a manipulator for operation reduced pressure”. In this work, the development of a prototype of a manipulator capable of operating in a vacuum environment and performing the process of manipulating silicon wafers was carried out. An analysis of existing solutions in the field of manipulators for working in a vacuum environment with silicon wafers is made. The task that the prototype of the developed manipulator should perform was set and its block diagram was completed. The kinematic scheme is made and its DH parameters are calculated. A power calculation was performed and electric drives were selected from it. The design of the mechanical part of the manipulator is completed and their drawings are given. An electrical control circuit of the developed prototype has been developed. The program code for controlling the manipulator has been written and a graphical interface has been developed to control the manipulator from a personal computer. The conducted experiments with the manufactured prototype of the manipulator are described.

• Задание_Капустин_Д.К
  • img005
  • img004
• ВКР_Капустин_ДК.pdf
  • Реферат
  • ABSTRACT