В данной работе рассмотрены возможности применения пленок наноструктурированного ITO, получаемых в процессе электронно-лучевого испарения, вместо неструктурированных прозрачных контактов для улучшения характеристик электролюминесцентных дисплеев на основе ZnS:Mn, изготавливаемых методом атомно-слоевого осаждения. В результате формирования рассеивающего свет рельефа, образованного в процессе роста диэлектрического слоя Al2O3 на массиве нанонитей ITO, происходит повышение эффективности вывода света из дисплейной структуры.

In this paper, we consider the possibility of using nanostructured ITO films obtained by electron beam evaporation instead of unstructured transparent contacts to improve the characteristics of electroluminescent displays based on ZnS:Mn, fabricated by atomic layer deposition. As a result of the formation of a light-scattering relief formed during the growth of the Al2O3 dielectric layer on an array of ITO nanowires, the efficiency of light output from the display structure increases.