Объект исследования – модель чувствительного элемента емкостного микромеханического акселерометра. Цель работы – разработать модель чувствительного элемента емкостного микромеханического акселерометра с учетом отклонения его геометрических параметров от номинальных в ходе производства. В данной работе проводится разработка модели ЧЭ емкостного ММА, которая позволит определять форму получаемых в ходе производства электродов и торсионов из результатов оптического и электрического контроля. Приводится анализ аналитических выражений, описывающих ЧЭ, электроды которого близки по форме к прямоугольным и трапециевидным, а также расчет емкостных характеристик, выполненный при помощи среды COMSOL Multiphysics. Получено, что наиболее близкие к результатам контроля геометрические параметры ЧЭ можно получить из модели, разработанной в COMSOL Multiphysics для трапециевидных электродов.

Object of study is a model of MEMS-accelerometer’s sensing element The aim is to develop a model of MEMS-accelerometer’s sensing element considering fluctuations of its geometric parameters from theoretical values that take place during manufacturing. This work deals with developing a model of accelerometer’s sensing element that allows defining geometry of manufactured electrodes and springs based on the results of electrical and visual testing. There is an analysis of equations for sensing elements which electrodes have a shape of a rectangular or a trapezoid. Also, there are results of capacity computation obtained from COMSOL Multiphysics. Considering testing results, the most accurate values of geometric parameters are obtained from COMSOL model for trapezoidal electrodes.