Детальная информация

Данная работа посвящена исследованию влияния вакуумной обработки на свойства компаундов, используемых в производстве микроэлектронных приборов (МЭП). В ходе исследования проведены механические испытания на сдвиг образцов, склеенных компаундом ВТ-10, прошедшим предварительную вакуумную обработку в различных временных режимах (10, 20 и 30 минут). Простроена зависимость прочности клеевого соединения от времени обработки, также исследовано влияние вакуумной обработки на характер разрушения клеевого шва. Дополнительно было проведено исследование вакуумной системы, используемой для предварительной вакуумной обработки, а конкретно состава остаточной атмосферы на предмет вакуумного масла и определение влияния выбора масляного насоса для проведения вакуумной обработки. Также, исходя из результатов экспериментов были предложены рекомендации по дополнительным исследованиям герметизирующих свойств компаунда и его газовыделения для комплексной оценки эффективности вакуумной обработки.

This work is devoted to studying the influence of vacuum treatment on the properties of compounds used in the manufacturing of microelectronic devices (MEDs). In the course of the study, mechanical shear tests were carried out on specimens bonded with VT-10 compound that had undergone preliminary vacuum treatment under various time regimes (10, 20, and 30 minutes). The dependence of adhesive joint strength on treatment time was plotted, and the influence of vacuum treatment on the failure mode of the adhesive joint was also investigated. Additionally, a study of the vacuum system used for preliminary vacuum treatment was conducted, specifically examining the composition of the residual atmosphere for the presence of vacuum oil and determining the influence of the oil pump selection for conducting vacuum treatment. Furthermore, based on the experimental results, recommendations were proposed for additional studies of the sealing properties of the compound and its outgassing in order to provide a comprehensive assessment of the vacuum treatment effectiveness.