Детальная информация

В данной работе приведены результаты исследования поверхности эпитаксиальных структур из арсенида индия методом оптической гранулометрии с использованием прибора Nanoreflex после обработки различными химическими составами. Проведено сравнение эффективности органических растворителей диметилформамид, изопропиловый спирт, N-метилпирролидон и неорганических растворов аммиачно-перекисный раствор, соляная кислота и раствор серной кислоты и перекиси водорода для очистки. Выявлено, что использование агрессивных кислотных составов ведёт к возникновению поверхностных дефектов, вследствие чего их не рекомендуется применять для обработки эпитаксиальных структур арсенида индия. Показано, что оптимальным способом финишной очистки поверхности является применение N-метилпирролидона с последующей обработкой аммиачно-перекисным раствором, что значительно снижает количество адгезивных загрязнений при сохранении целостности структуры поверхности.

This paper presents the results of a study of the surface of epitaxial structures made of indium arsenide by optical granulometry using a Nanoreflex device after treatment with various chemical compositions. The effectiveness of organic solvents dimethylformamide, isopropyl alcohol, N-methylpyrrolidone and inorganic solutions of ammonium peroxide solution, hydrochloric acid and a solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide for purification is compared. It has been revealed that the use of aggressive acidic formulations leads to the appearance of surface defects, as a result of which they are not recommended for the treatment of epitaxial structures of indium arsenide. It has been shown that the optimal method of surface finishing is the use of N-methylpyrrolidone followed by treatment with an ammonia-peroxide solution, which significantly reduces the amount of adhesive contamination while maintaining the integrity of the surface structure.