Детальная информация
Название | Сканирующая туннельная микроскопия и атомарно-силовая микроскопия полупроводниковых материалов и наноструктур: учебное пособие. — Частично дополнено и переработано |
---|---|
Авторы | Рыков Сергей Александрович |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2022 |
Коллекция | Учебная и учебно-методическая литература ; Общая коллекция |
Тематика | Микроскопия ; Полупроводники ; Наноструктурные материалы ; Графены ; сканирующие туннельные микроскопы ; атомарно-силовые микроскопы ; учебники и пособия для вузов |
УДК | 681.723(075.8) ; 621.315.592(075.8) ; 620.3(075.8) ; 549.21(075.8) |
Тип документа | Учебник |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Код специальности ФГОС | 16.03.01 |
Группа специальностей ФГОС | 160000 - Физико-технические науки и технологии |
DOI | 10.18720/SPBPU/5/tr22-64 |
Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\68101 |
Дата создания записи | 05.04.2022 |
В учебном пособии на примерах сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) и атомарно-силового микроскопа (АСМ) рассмотрены основные принципы сканирующей зондовой микроскопии. Изложены физические основы их действия, описаны современные конструкции СТМ и АСМ. Рассматривается результаты их практического применения к исследованию и диагностике полупроводниковых материалов и наноструктур.
- ОГЛАВЛЕНИЕ
- Введение
- Глава 1. Сканирующая туннельная микроскопия и локальнаятуннельная спектроскопия
- 1.1. Физические основы туннелирования
- 1.2. Принцмп работы СТМ
- 1.3. Конструкции современных СТМ
- 1.4. СТМ исследование топографии поверхностиполупроводников
- 1.5. СТМ/ЛТС исследование полупроводниковыхматериалов и структур
- 1.6. СТМ/ЛТС исследование графена намикроструктурированной подложке
- Глава 2. Атомарно-силовой микроскоп
- 1.1. Принцип действия АСМ
- 1.2. Применение АСМ для исследования полупроводниковых материалов и наноструктур
- Заключение
- Список использованной литературы
Количество обращений: 4413
За последние 30 дней: 92