Исследование закономерностей процесса синтеза частиц оксидов железа и титана аэрозольным химическим осаждением из газовой фазы: научный доклад: направление подготовки 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи» ; направленность 11.06.01_03 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»