Детальная информация
| Название | Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры: научный доклад: 11.06.01 |
|---|---|
| Авторы | Эннс Яков Борисович |
| Научный руководитель | Пятышев Евгений Нилович |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2018 |
| Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Тематика | Пленки тонкие ; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство ; Микроэлектронная аппаратура ; Упругие системы — Устойчивость ; Колебания ; микросистемная техника |
| УДК | 531.36 ; 539.216.2 |
| Тип документа | Научный доклад |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Уровень высшего образования | Аспирантура |
| Код специальности ФГОС | 11.06.01 |
| Группа специальностей ФГОС | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/va19-5 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\60190 |
| Дата создания записи | 16.01.2019 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Научный доклад посвящён разработке конструкции, методов управления и технологии изготовления нелинейных микромеханических структур с потерей устойчивости.В рамках работы были получены новые данные о механических свойствах тонкопленочных металлических композиций и динамическом поведении нелинейных микросистем.Теоретические данные,полученные в ходе численного моделирования поведения нелинейных микромеханических элементов,подтверждаются экспериментально на изготовленных прототипах устройств. Полученные результаты дают возможность совершенствования технологических и конструкционных методов проектирования и изготовления устройств микросистемной техники.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 2
За последние 30 дней: 0